小(xiǎo)型(xíng)真(zhēn)空鍍(dù)膜機(jī)是(shì)我公司專為(wéi)科(kē)研(yán)院所及實驗室用(yòng)戶(hù)群體設(shè)計開發的一款小型高真空蒸(zhēng)發(fā)鍍(dù)膜(mó)係(xì)統(tǒng)。采用大抽速(sù)分子泵準(zhǔn)無(wú)油(yóu)高(gāo)真(zhēn)空(kōng)係統，機架電控一體(tǐ)化(huà)設(shè)計(jì)，整體布(bù)局緊(jǐn)湊合理，充分考慮(lǜ)人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控麵板和(hé)可(kě)直(zhí)觀觀察(chá)蒸發狀態的玻(bō)璃真空室(shì)結(jié)構相得益彰。兩(liǎng)組/三組(zǔ)蒸(zhēng)發(fā)源可(kě)兼(jiān)容金屬(shǔ)，有機(jī)物蒸(zhēng)發。廣泛應用於(yú)高(gāo)校(xiào)，科研(yán)院所(suǒ)教(jiào)學，製(zhì)備(bèi)功能薄膜，蒸鍍電極，掃描(miáo)電鏡(jìng)製樣(yàng)等，特別適合太陽能電(diàn)池，有機EL，LED顯示管(guǎn)研(yán)究與開發領域。
小型真空(kōng)鍍膜(mó)機主要(yào)特(tè)點(diǎn)/優(yōu)勢：
★ 玻璃鐘罩(zhào)真(zhēn)空腔(qiāng)室，最直觀的蒸發(fā)狀(zhuàng)態(tài)和(hé)薄膜(mó)沉(chén)積(jī)現(xiàn)象觀察(chá)；
★ 復(fù)合(hé)分(fēn)子泵和直(zhí)聯旋片泵，大(dà)抽速(sù)準(zhǔn)無油(yóu)真(zhēn)空(kōng)係(xì)統(分子泵抽速≥400L/S)；
★ 兩組水冷式蒸(zhēng)發(fā)電極，可(kě)長(cháng)時間穩(wěn)定工作，兼容(róng)金屬(shǔ)材料(liào)與有機材(cái)料的(dí)蒸發(fā)源設(shè)計；
★ 專業真(zhēn)空(kōng)蒸發(fā)電源(yuán)，數顯工作電流(liú)和電壓(yā)，恒(héng)流(liú)輸(shū)出；
★ 可(kě)鍍(dù)110mm方(fāng)形(xíng)基片或(huò)15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定(dìng)製一體化高(gāo)精度(dù)刻(kè)蝕掩(yǎn)膜板；
★ 襯底可選(xuǎn)擇(zé)加熱(rè)或水冷，源(yuán)基距(jù)≥300mm；
★ 良(liáng)好的薄(báo)膜均匀(yún)性和重(zhòng)復性，可在(zài)綫監測和(hé)控製蒸(zhēng)發(fā)速(sù)率(shuài)，膜(mó)厚(hòu)；
★ 可沉(chén)積(jī)金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等(děng))，非金屬，化(huà)合(hé)物(MoO3, LiF等)及(jí)有機(jī)物材(cái)料(liào)，可(kě)拓展沉積(jī)單層膜，多層膜(mó)及(jí)混合膜；
★ 設(shè)備(bèi)集成度高(gāo)，結構緊湊(còu)，占地(dì)麵積小(xiǎo)(0.92平米)；設備(bèi)配腳輪(lún)，方便移(yí)動(dòng)和(hé)定位。
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