離(lí)子濺(jiàn)射(shè)儀(yí)的(dí)保(bǎo)養方(fāng)法是(shì)怎樣的(dí)？一文帶你全學會

　　離子濺射儀是一(yī)種(zhǒng)緊湊(còu)的台式塗(tú)層(céng)係統，特別適用於(yú)掃描(miáo)電子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡(jìng)成像中(zhōng)非導(dǎo)電(diàn)樣品(pǐn)的(dí)高質量塗層(céng)。樣(yàng)品的幹燥(zào)和清潔(jié)是(shì)離子(zǐ)濺射(shè)塗(tú)層的基(jī)本要(yào)求。如有必要(yào)，應在交換(huàn)樣品(pǐn)和(hé)陰(yīn)極的位置用(yòng)火(huǒ)花(huā)放電清潔(jié)樣品表(biǎo)麵，然(rán)後(hòu)在(zài)濺射塗(tú)層(céng)前(qián)恢(huī)復樣品。鐵
，鎳
，銅和鉛(qiān)通(tōng)常用作(zuò)離(lí)子(zǐ)濺射儀器的陰極材料(liào)。有(yǒu)時(shí)電硬(yìng)金
，鉑
，鈀(bǎ)
，銦和(hé)其(qí)他金(jīn)屬也(yě)可(kě)用作陰極材料。氧通常(cháng)用(yòng)作離(lí)子濺射儀器的反(fǎn)應(yīng)氣(qì)體(tǐ)。
 



 

　　離子(zǐ)濺射儀的維護與保(bǎo)養(yǎng)方法(fǎ)：
 
　　在掃描電子顯(xiǎn)微鏡(jìng)的樣(yàng)品(pǐn)預處理(lǐ)中，在樣(yàng)品表麵鍍金(jīn)和(hé)提高樣品的導(dǎo)電性是(shì)離子(zǐ)濺(jiàn)射儀的(dí)主要(yào)用途。多(duō)年(nián)來(lái)，經(jīng)常出(chū)現無法正常鍍金的錯誤報(bào)告(gào)，需(xū)要(yào)進行(háng)維護(hù)。
 
　　1
，調(tiáo)整真空度(dù)
 
　　如(rú)果樣本(běn)倉(cāng)內(nèi)壁清潔後(hòu)仍(réng)報告錯誤，請(qǐng)注意(yì)儀(yí)器(qì)的(dí)真空度(dù)。通常(cháng)，鍍金(jīn)過程中腔(qiāng)室中的壓力(lì)為7Pa。當(dāng)壓(yā)力保(bǎo)持在6Pa或更(gēng)低時(shí)，很容易(yì)報(bào)告(gào)錯誤(wù)。將樣(yàng)品(pǐn)放(fàng)置(zhì)到(dào)位，蓋上(shàng)樣品箱，啟動鍍(dù)金(jīn)程序，觀(guān)察(chá)儀(yí)表(biǎo)板上的壓力(lì)變(biàn)化。
 
　　當(dāng)儀(yí)器(qì)前(qián)麵的(dí)第(dì)二個指示(shì)燈(調(tiáo)整真空(kōng)度(dù))閃爍(shuò)時，調整(zhěng)下麵(miàn)的旋鈕。當它(tā)順(shùn)時(shí)針(zhēn)旋轉時，壓力會增加，當(dāng)它(tā)逆(nì)時針旋轉時(shí)壓(yā)力會降低。根(gēn)據需要小(xiǎo)心(xīn)地將(jiāng)其(qí)調(tiáo)節至約(yuē)7Pa，以便儀器能(néng)夠(gòu)正(zhèng)常電鍍。
 
　　2
，清潔樣本(běn)箱(xiāng)
 
　　儀器使(shǐ)用(yòng)過(guò)程中，樣品(pǐn)倉內(nèi)壁會有汙(wū)染物沉積。通常使用(yòng)前會用(yòng)幹(gān)淨(jìng)的(dí)布(bù)或紙擦拭，然後用耳球吹。當儀(yí)器長(cháng)時間使用(yòng)時，會(huì)有許(xǔ)多(duō)金(jīn)顆粒(lì)附(fù)著(zhuó)在(zài)內壁的下(xià)邊(biān)緣，這很難(nán)擦除(chú)。可(kě)以在(zài)樣(yàng)品倉中塗(tú)上金屬拋(pāo)光膏(gāo)，然後(hòu)用(yòng)紙反復擦(cā)拭，這樣更容(róng)易(yì)清潔，然後(hòu)用酒精清洗(xǐ)。